芯片廠(chǎng)中通常分為擴散區、光刻區、刻蝕區、離子注入區、薄膜生長(cháng)區和拋光區6個(gè)生產(chǎn)區域：
?擴散區是進(jìn)行高溫工藝及薄膜積淀的區域，主要設備是高溫爐和濕法清洗設備；
②光刻區是芯片制造的心臟區域，使用黃色熒光管照明，目的是將電路圖形轉移到覆蓋于硅片表面的光刻膠上；
③刻蝕工藝是在硅片上沒(méi)有光刻膠保護的地方留下的圖形；
④離子注入是用高壓和磁場(chǎng)來(lái)控制和加速帶著(zhù)要摻雜的雜質(zhì)的氣體；高能雜質(zhì)離子穿透涂膠硅片的表面，形成目標硅片；
⑤薄膜生長(cháng)主要負責生產(chǎn)各個(gè)步驟中的介質(zhì)層與金屬層的淀積。
⑥拋光，即CMP（化學(xué)機械平坦化）工藝的目的是使硅片表面平坦化。
